干法刻蚀设备的订单出现了什么变化？

  • 公司在11月3日的业绩说明会上表示，新一代先进干法刻蚀设备RENA-E已导入存储器、逻辑及特色工艺集成电路等前道晶圆制造的多家客户并形成量产，新签订单开始逐渐放量。
  • 该设备在多家国内新客户的导入验证进展顺利；同类干法刻蚀设备也首次取得欧洲客户订单。已有客户量产、新客户验证和新地区获单，构成了订单增长的不同来源。

新产品离放量还有哪些环节？

  • 公司正在研发新型金属刻蚀、晶边刻蚀和沉积、高选择比刻蚀设备，以及多腔体工艺集成平台。
  • 部分项目已在2026年前三季度完成产品研发并导入客户端验证。公司表示，这些产品将在陆续通过客户验证后逐步放量，因此研发完成与形成批量订单之间仍有客户验证环节。

现有成熟产品线提供了什么基础？

  • 东吴证券分析师认为，公司已形成干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理三大类成熟设备产品线。
  • 其中，新一代先进干法去胶设备Optima系列已导入前道晶圆制造及先进封装领域的多家客户并形成量产。现有产品的量产应用，与新设备项目的客户验证处于不同阶段。